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杭州中芯晶圓半導(dǎo)體股份有限公司半導(dǎo)體大硅片(200mm、300mm)項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)環(huán)保公示
2018-03-12

 

一、項(xiàng)目概況
項(xiàng)目名稱:杭州中芯晶圓半導(dǎo)體股份有限公司半導(dǎo)體大硅片(200mm、300mm)項(xiàng)目
建設(shè)單位:杭州中芯晶圓半導(dǎo)體股份有限公司
建設(shè)地點(diǎn):浙江省杭州大江東產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)智造谷以東、江東七路以南、錢江直河以西、臨鴻路橫河以北。
建設(shè)內(nèi)容和規(guī)模:項(xiàng)目用地性質(zhì)為工業(yè)用地,地上建筑面積控制166936.8~278228平方米,項(xiàng)目建成后形成年產(chǎn)360萬(wàn)片200mm半導(dǎo)體硅片和年產(chǎn)240萬(wàn)片300mm半導(dǎo)體硅片的生產(chǎn)能力。項(xiàng)目估算總投資600000萬(wàn)元,其中建設(shè)投資539700萬(wàn)元,流動(dòng)資金50000萬(wàn)元。
二、環(huán)境影響分析
1、環(huán)境空氣影響預(yù)測(cè)與評(píng)價(jià)
本項(xiàng)目主要廢氣主要為磨片后清洗(1)工段產(chǎn)生含鹽酸酸霧廢氣;磨片后清洗(5)工段、堿性蝕刻(1)工段產(chǎn)生含氫氧化鈉的堿性廢氣;CP后清洗(1)CVD前清洗(1)貼付前清洗(1)洗凈(1)工段產(chǎn)生含氨廢氣;CP后清洗(3)、CVD前清洗(3)、CVD后端面處理(2)洗凈(3)工段產(chǎn)生含氟化物廢氣;化學(xué)(CP)腐蝕產(chǎn)生含氟化物、氮氧化物、醋酸廢氣;氣相成碳工段產(chǎn)生含硅烷和顆粒物的廢氣。含堿性、酸性廢氣通過(guò)二級(jí)噴淋處理后排放;含氮氧化物廢氣經(jīng)三級(jí)噴淋處理達(dá)標(biāo)后排放,對(duì)大氣環(huán)境影響不大。
2、水環(huán)境影響評(píng)價(jià)
項(xiàng)目廢水主要為生活污水及生產(chǎn)工藝廢水,工藝廢水主要來(lái)自倒角、磨片、CVD后端面處理、ML的清洗廢水;磨片后清洗、堿性蝕刻的酸堿廢水;化學(xué)腐蝕及清洗;CP后清洗(3)、(4);CVD后端面處理(2)、(3);洗凈(3)(4);廢氣噴淋塔排污的含氟廢水;CP后清洗(1)、(2);CVD前清洗(1)、(2);貼付前清洗(1)、(2);洗凈(1)(2)的含氨廢水;廢水經(jīng)廠內(nèi)污水處理站預(yù)處理達(dá)到《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》三級(jí)標(biāo)準(zhǔn)后送臨江污水處理廠處理。
3、聲環(huán)境影響評(píng)價(jià)
根據(jù)預(yù)測(cè),項(xiàng)目對(duì)各廠界晝、夜噪聲貢獻(xiàn)不大,能滿足《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB12348-2008)3類標(biāo)準(zhǔn)要求,對(duì)周圍聲環(huán)境影響不大。
4、固廢處置環(huán)境影響評(píng)價(jià)
本項(xiàng)目危險(xiǎn)廢物均委托有危廢處置資質(zhì)的單位處理處置,一般固廢綜合利用,生活垃圾由當(dāng)?shù)丨h(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一收集處理。各固體廢物均得到妥善處理處置,無(wú)固體廢物直接排放環(huán)境,對(duì)周圍環(huán)境影響較小。
 
三、預(yù)防和減輕不良環(huán)境影響的對(duì)策和措施要點(diǎn)
本項(xiàng)目污染防治對(duì)策匯總表見(jiàn)表2
本項(xiàng)目污染防治對(duì)策匯總表
分類
對(duì)策措施說(shuō)明
廢水
廢水收集系統(tǒng)
全廠實(shí)施雨、污分流;清、污分流。
廢水處理工程
新建廢水處理站,采用清洗污水回收+廢水物化+生化處理工藝,經(jīng)處理達(dá)標(biāo)后納入市政污水管網(wǎng),最終排入臨江污水處理廠。
生活污水經(jīng)過(guò)隔油池+化糞池處理后排入市政污水管網(wǎng),最終排入臨江污水處理廠。
廢氣
廢氣處理系統(tǒng)
含堿性、酸性廢氣通過(guò)二級(jí)噴淋處理后排放;含氮氧化物廢氣經(jīng)三級(jí)噴淋處理達(dá)標(biāo)后排放。
固廢
工業(yè)固廢、生活垃圾
危險(xiǎn)廢物委托有危廢處置資質(zhì)的單位處理處置。
一般固廢外售進(jìn)行綜合利用;生活垃圾委托環(huán)衛(wèi)部門清運(yùn)。
本項(xiàng)目建成后按照固體廢物的性質(zhì)進(jìn)行分類收集和暫存。其中危險(xiǎn)固廢按《危險(xiǎn)廢物貯存污染控制標(biāo)準(zhǔn)》(GB18597-2001)及2013年修改清單相關(guān)要求執(zhí)行,一般固廢堆場(chǎng)按《一般工業(yè)固體廢物貯存、處置場(chǎng)污染控制標(biāo)準(zhǔn)》(GB18599-2001)及2013年修改清單相關(guān)要求執(zhí)行。
噪聲
生產(chǎn)車間
合理布局,選用低噪設(shè)備,對(duì)高噪設(shè)備進(jìn)行消聲減震和隔聲處理,降低噪聲對(duì)廠界的影響。
加強(qiáng)噪聲設(shè)備的維護(hù)管理,避免因不正常運(yùn)行所導(dǎo)致的噪聲增大。
綠化降噪。
 
四、環(huán)評(píng)結(jié)論
杭州中芯晶圓半導(dǎo)體股份有限公司半導(dǎo)體大硅片(、)項(xiàng)目符合國(guó)家產(chǎn)業(yè)政策導(dǎo)向、環(huán)境功能區(qū)規(guī)劃;在營(yíng)運(yùn)過(guò)程中產(chǎn)生一定量的水、氣、聲、固廢等污染物,經(jīng)處理后能做到達(dá)標(biāo)排放要求,排放污染物符合國(guó)家、省規(guī)定的污染物排放標(biāo)準(zhǔn),并符合國(guó)家、省規(guī)定的主要污染物排放總量控制指標(biāo);處理達(dá)標(biāo)后的污染物對(duì)環(huán)境的影響是可以承受的,符合建設(shè)項(xiàng)目所在地環(huán)境功能區(qū)劃確定的環(huán)境質(zhì)量要求。因此項(xiàng)目只要在建設(shè)和營(yíng)運(yùn)過(guò)程中,認(rèn)真落實(shí)本報(bào)告提出的各項(xiàng)污染防治措施,認(rèn)真執(zhí)行各項(xiàng)環(huán)保法規(guī)、制度,從環(huán)境影響的角度來(lái)看,本項(xiàng)目是可行的。
五、公眾了解項(xiàng)目環(huán)保信息的方式
公眾(個(gè)人或團(tuán)體)如要了解本項(xiàng)目的環(huán)境影響情況,可以信函、電話或其他方式與建設(shè)單位、環(huán)評(píng)單位、環(huán)保部門聯(lián)系索要本項(xiàng)目的環(huán)境影響報(bào)告書(shū)簡(jiǎn)本,建議團(tuán)體單位加蓋公章,個(gè)人應(yīng)具名并說(shuō)明聯(lián)系方式。公眾對(duì)該項(xiàng)目建設(shè)的意見(jiàn)或建議,可在公示之日起十個(gè)工作日內(nèi),向環(huán)評(píng)單位或環(huán)保主管部門提出,環(huán)評(píng)單位將在《環(huán)境影響報(bào)告書(shū)》中真實(shí)記錄公眾的意見(jiàn)和建議,并將公眾的寶貴意見(jiàn)、建議向工程的建設(shè)單位、設(shè)計(jì)單位和有關(guān)部門反映。公示時(shí)間2017312-2018324 日。
(1)建設(shè)單位:杭州中芯晶圓半導(dǎo)體股份有限公司, 電話:13175059618,許工
(2)環(huán)評(píng)單位:浙江省環(huán)境科技有限公司, 電話:0571-87995270,覃工
(3)審批部門:大江東經(jīng)發(fā)局,              電話:0571-82987912
[]:請(qǐng)公眾在發(fā)表意見(jiàn)的同時(shí)盡量提供詳盡聯(lián)系方式。
 
 
 
杭州中芯晶圓半導(dǎo)體股份有限公司
2018年3月12日